установка электронно-лучевого экспонирования с электронным лучом изменяемой формы

eksponavimo įrenginys su keičiamu elektronų pluošto pavidalu statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. variable-shaped electron-beam exposure installation vok. Flächenstrahlbelichtungsanlage, f rus. установка электронно-лучевого экспонирования с электронным лучом изменяемой формы, f pranc. installation d'exposition par faisceau d'électrons variable, f